当前位置：首页 > 产品中心

研磨塌边

研磨塌边

双面研磨技术研究现状与发展趋势磨料机床玻璃世纪研磨机

2024年6月7日塌边现象是研磨中较为常见的问题，而双面研磨工艺与传统的研磨工艺加工原理相似，因此，加工后的工件同样存在塌边的现象，针对塌边现象的形成机理，国内 2011年3月21日因此，要获得达到面质量要求的器件必须有超精密的机床和合适的抛光工艺。本文对超精密双面研磨抛光工件产生塌边的各种因素进行了比较分件加工效率双面研双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究豆丁网

双面研磨抛光中工件表面"塌边现象"的研究百度学术

本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题进行研究,分析造成工件表面"塌边"的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。2019年4月3日利用机械研磨抛光过程中减小塌边现象的方法，能够显著地减小塌边现象，能够获得更好的平坦化效果。同时，胶环和外边框易去除，去除后能够获得塌边现象不明显的平面。一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法与流程

一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法 [发明专利]

2019年4月2日一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法，属于机械研磨抛光加工技术领域。本发明在零件非加工面上胶接与非加工面形状相同的外边框结构，通过外边 2020年6月23日双面研磨／抛光技术是能使工件得到较高形状精度和表面精度的超精密加工主要方法。但是在双面研磨抛光加工中工件存在“塌边现象”，这导致工件的表面平整度双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究道客巴巴

双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究 Semantic Scholar

本文对双面研磨抛光中工件“塌边”这一问题进行研究,分析造成工件表面“塌边”的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题进行研究,分析造成工件表面"塌边"的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究 Research on the

一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法百度学术

一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法,属于机械研磨抛光加工技术领域本发明在零件非加工面上胶接与非加工面形状相同的外边框结构,通过外边框结构对工件的非加工面知乎有问题，就会有答案

硅片加工缺陷的分类及解读

2022年1月21日塌边是抛光工艺中，在硅片边缘区域形成的斜坡状加工缺陷。产生原因由于抛光布太软，抛光速度过慢，抛光时间过长以及抛光前的化学腐蚀边缘减薄量较多等因素，在酸腐蚀工艺中，边缘腐蚀过快也容易造成塌边。2017年9月2日该文档贡献者很忙，什么也没留下。双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究道客巴巴

晶圆研磨过程中发生破损问题的分析与解决方法技术分享

2021年8月26日在晶圆研磨过程中，会有许多造成晶圆破碎的因素存在，如何减小破损产生的机率，需要从现象出发去寻找原因。晶圆破碎的几种形式 1、沿磨痕方向碎裂。 “磨痕”指的就是晶圆片背面的磨痕。这种类型的破损发生在这个磨痕上。 2、沿晶圆纹路碎裂 2019年4月17日第六步，对工件进行双面研磨，研磨时间为第五步中计算的时间，研磨过程中，塌边区域4即边缘以内的4mm 环带时刻有区域完全露出。第七步，测量形貌数据中，发现边缘效应得到抑制。图1为抑制边缘效应方法的流程图；图2和图3为本实施例中一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法与流程

双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究 Research on the

但是在双面研磨抛光加工中工件存在"塌边现象",这导致工件的表面平整度变差。本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题进行研究,分析造成工件表面"塌边"的各种因素,以及相应解决方法,对进一步提高双面研磨抛光加工质量具有重大意义。关键词：“双面研磨抛光中工件表面"塌边现象"的研究”出自《新技术新工艺》期刊2010年第2 期文献，主题关键词涉及有平整度、双面研磨抛光、形状精度、塌边等。钛学术提供该文献下载服务。钛学术文献服务平台学术出版新技术应用与公共服务实验室出品双面研磨抛光中工件表面"塌边现象"的研究钛学术文献服务平台

抛光塌边产生的原因百度文库

一、抛光压力不均匀抛光塌边的原因之一是抛光压力不均匀。在抛光过程中，如果使用的抛光机械设备或手动操作不当，容易造成抛光压力在不同部位不均匀分布。这会导致一些部位的金属被过度抛光，而其他部位则未能得到足够的抛光，从而形成塌边现象 2012年4月3日本专利由信越半导体股份有限公司申请，公开，本发明提供一种半导体晶片，其在研磨时于外周形成有塌边，其特征在于，在前述半导体晶片的中心与外周塌边开始位置之间，前述半导体晶片的厚度方向的位移量是100nm以下，且前述半导体晶片的专利查询、专利下载就上专利顾如半导体晶片及其制造方法CNB 专利顾如

超精密平面研磨机应用领域百度文库

下研磨盘涂抹人造金刚石研磨膏,并用蒸馏水稀释,在研磨过程中工件中心的研磨膏不断地被挤出来,最终导致四周低中间高的“塌边”现象。由 Veeco RTI6100激光干涉仪测得塌边量达587µm,而且研磨时间越长塌边越严重。2020年5月12日 1 引言大口径高精度光学元件在空间光学、高功率激光装置中有广泛应用,环形抛光(以下简称“环抛”)因去除效率高和全频谱收敛而成为加工大口径光学元件的重要方式之一目前,采用环抛加工大口径光学元件很大程度上仍依赖于操作人员的经验,缺乏有效的环形抛光中方形元件塌角控制方法的理论分析

一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法百度文库

2019年4月16日本发明属于机械研磨抛光加工技术领域，提供一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法，在研磨盘装夹之后对其进行修整，将内外圈修整为有坡度的表面，从而控制边缘部分的材料去除，实现减小塌边的目的。具体步骤为：首先，将平面零件在修整好的 2023年11月17日本技术涉及工装治具，尤其涉及一种防塌边平面研磨工装。背景技术： 1、随着生活质量的不断提高，人们对电子产品的要求也在不断提高，其中不仅有功能上的要求，还有在外观上的要求。现有技术中，部分电子产品会存在盖板类的零件，为一种防塌边平面研磨工装的制作方法 X技术网

光学玻璃三棱镜透镜加工工艺简介百家号

2021年3月28日光学玻璃三棱镜透镜加工工艺简介光学零件的加工，分为热加工、冷加工和特种加工，热加工目前多采用于光学零件的坯料备制；冷加工是以散粒磨料或固着磨料进行锯切、粗磨、精磨、抛光和定心磨边。特种加工仅改变抛光表面的性能，而不改变光学零 2014年11月29日好像快刀、钝刀同时砍柴，导致工件表面坑坑洼洼，平面度和粗糙度显然不符合设计要求。在研磨过程中，由于受到磨削热的影响，发现余量设计得过大的工件，“塌边”现象较多并且平面度超差现象也较多。显然，研磨余量的增大，其结果只能增加废品率。高精度平面工件精密研磨技术

半导体晶片及其制造方法 X技术网

2014年1月1日半导体晶片及其制造方法【专利摘要】本发明提供一种半导体晶片，其在研磨时于外周形成有塌边，其特征在于，在前述半导体晶片的中心与外周塌边开始位置之间，前述半导体晶片的厚度方向的位移量是100nm以下，且前述半导体晶片的中心是凸出的形状，前述半导体晶片的外周塌边量是100nm以下研磨塌边 T21:06:07+00:00 一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法 [发明专利] 2019年4月2日步，在研磨机上加工平面结构的零件，确定塌边尺寸；第二步，根据零件非加工面结构及步确定的塌边尺寸确定外边框结构；所述的外边框的内边缘形状本文对双面研磨抛光中工件"塌边"这一问题研磨塌边

一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法[发明专利]

专利名称：一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法专利类型：发明专利发明人：康仁科,潘博,郭江申请号：CN 2751 申请日：公开号：CN1095ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ1311A 公开日： 02 摘要：一种机械研磨或抛光过程中减小塌边 2019年4月17日本发明属于机械研磨抛光加工技术领域，涉及一种机械研磨抛光抑制边缘效应的方法。背景技术机械研磨和抛光工艺是获得局部和全局平坦化的最有效办法之一，在硬脆材料、金属材料的平面构件的超精加工中应用广泛。机械研磨和抛光尤其是采用游离磨料加工零件由于工件边缘受力状况、运动状况一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法与流程3

如何解决超薄工件在研磨过程中的变形问题？百度知道

2017年10月7日海德研磨凭借多年的行业经验与您分享如何解决超薄工件在研磨过程中的变形问题。平面抛光机在抛光厚度超薄，硬度较低，脆的工件时，容易出现变形，塌边的问题。这个情况在抛光过程中和抛光后最常见的，也是很多企业面临最头疼的问题。2022年12月20日超薄氧化锆陶瓷片研磨加工时容易碎裂，塌边由于它属于晶体材料，太薄会导致工件无法承受研磨设备所带来的磨削力，在摩擦挤压等过程中发生晶体破碎是很容易的。氧化锆陶瓷研磨加工技术难点，都是氧化锆本身所具有的特性所带来的，由此可见，每一种工件的特性，参数，都是影响研磨设备解决磨超薄氧化锆陶瓷容易碎裂的方法技术资料【科众陶瓷】

硅片加工缺陷的分类及解读抛光的表面刀具

2022年1月21日划伤分为轻划伤和重划伤。产生划伤原因有:研磨机磨盘质量不佳，磨料中混有粒径较大的磨砂，抛光液中混有硬质颗粒，抛光工艺环境不符合洁净度要求等。 5、塌边塌边是抛光工艺中，在硅片边缘区域形成的斜坡状加工缺陷。2023年4月2日陶瓷纤维研磨刷可以去除切削后铝合金表面的刀纹，同样抛光后表面的孔位也会出现塌边现象，这个问题很好解决，我们只需要把制程改变一下顺序即可，在大平面切削后，先不要做打孔的动作，我们先用陶瓷纤维研磨刷做抛光，再打孔就能避免孔位塌边陶瓷纤维研磨刷做表面刀纹处理孔位塌边怎么处理？

一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法与流程2

2019年4月3日本发明属于机械研磨抛光加工技术领域，涉及一种减小机械研磨抛光塌边现象的方法。背景技术机械研磨和抛光工艺是获得局部和全局平坦化的最有效办法之一，在硬脆材料、金属材料的平面构件加工中应用广泛。机械研磨和抛光加工零件由于其边缘受力状况、运动状况和磨粒聚集现象，容易造成塌双面研磨抛光中工件表面"塌边现象" 的研究 2010 胡永亮，袁巨龙，邓乾发《新技术新工艺》被引量: 9 收藏相关文章 1 2 更多>> 合作学者邓乾发浙江工业大学超精密加工研究中心邓乾发百度学术

一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法与流程2

2019年4月3日本发明属于机械研磨抛光加工技术领域，涉及一种减小机械研磨抛光塌边现象的方法。背景技术机械研磨和抛光工艺是获得局部和全局平坦化的最有效办法之一，在硬脆材料、金属材料的平面构件加工中应用广泛。机械研磨和抛光加工零件由于其边缘受力状况、运动状况和磨粒聚集现象，容易造成塌 2009年6月29日划痕：晶片在研磨或抛光过程中，出现明显的划伤痕迹。产生原因; 磨粉或抛光粉中混入较大硬质颗粒或晶片碎片，机械抛光沥青盘局部太硬。裂纹：晶片或晶体内存在微小的缝隙。产生原因：热应力或机械应力。崩边：晶片边缘呈现单面局部破损。【原创】半导体缺陷解析及中英文术语一览非金属小木虫

研磨塌边

2014年11月15日研磨研磨平板研磨平台精密石墨零件的研磨河北精工机床零件到位为精车加工,尖边有局部塌边,研磨工艺步骤如下:①整理加工场地,使环境洁净将研磨平板、零件彻底清洗干净,这一步对保证加工成功非常重要②粗研平板选3 工厂里的研磨盘磨损了,想换个平面双面研磨抛光平面双面研磨抛光顾名思义就是对大量平面零件上下两个表面同时加工进行高速抛光。抛光中主要的是对磨盘的修正（修盘）、工艺参数、抛光液的浓度、PH值、机器的清洗等系列的掌握和理解。抛光是零件加工中的最后工序，质量的要求平面双面研磨抛光百度文库

双面研磨抛光中工件表面塌边现象的研究胡永亮pdf免费

2021年1月26日文档在线预览失败，可下载后查看双面研磨抛光中工件表面塌边现象的研究胡永亮pdf 30828KB 下载文件 / 0 100% 暂无签名百度网盘为您提供文件的网络备份、同步和分享服务。空间大、速度快、安全稳固，支持教育网加速，支持端。从图4可以看出，为了减小边缘“塌边”的宽度，可行的办法是减少研磨盘的露边量。从而减少研磨盘的露边量对反射镜表面进行修形，可以获得边缘处“塌边”量较小面形，该面形必然会产生边缘“翘边”的现象，接着对抑制“翘边”的办法进行研究。31CorrectmethodoftheCCOSedgeeffectbylittletoolfiguring

方达带气缸平面研磨机单面无划伤不塌边高亮度平面磨床

阿里巴巴方达带气缸平面研磨机单面无划伤不塌边高亮度平面磨床，磨床，这里云集了众多的供应商，采购商，制造商。这是方达带气缸平面研磨机单面无划伤不塌边高亮度平面磨床的详细页面。类型:平面磨床，货号:580，品牌:方达，重量:850（kg），主电机功率:15（kw），外形尺寸:1200x1500x1800（mm 2019年4月17日第六步，对工件进行双面研磨，研磨时间为第五步中计算的时间，研磨过程中，塌边区域4即边缘以内的4mm 环带时刻有区域完全露出。第七步，测量形貌数据中，发现边缘效应得到抑制。图1为抑制边缘效应方法的流程图；图2和图3为本实施例中一种机械研磨或抛光过程中抑制边缘效应的方法与流程

晶圆减薄过程ttv调整技术研究豆丁网

2016年6月16日磨削图如图1所示。InFeed磨削方式的优点在于：磨削砂轮和晶圆片的接触长度、接触面积、切入角不变，研磨力恒定，加工状态稳定，可以避免加工晶片出现中凸和塌边现象，尤其适用于较薄晶片的磨削加工。2020年10月13日 2塌边也是常见的现象。塌边这种情形的出现，多半是由于玻璃厚度较薄，选用的研磨盘不当而导致的，当然也有可能是压力不均匀导致。所以在出现这一现象后，我们首先应该从这两点出手，检查是否磨盘选择不当，或压力不均，如果是则立马更换磨盘，调整工件压力块。玻璃抛光时的常见问题和注意事项「晶南光学」

超精密平面研磨机主要应用领域

2014年11月28日使用先粗后细的人造金刚石研磨膏作为研磨剂,顺序为W14、W7、W35,此时研磨塌边量减小为 443μm。但是,在研磨过程中工件中心的研磨膏还是不断地被挤出来,导致工件与下研磨盘之间研磨膏分布不均匀,需要不断地用手涂抹均匀。2019年12月3日卧式双端面磨床磨削塌边 (角)产生的原因是多方面的，与基准底板、基准砂轮、导向压板的相对位置关系及砂轮磨削角度都有关系。具体问题具体分析，我们可从以下4个方面来探讨下： 1必须检查卧式双端面磨床调整砂轮的磨削角度，避免磨削时磨削量在砂机械加工时磨削塌边产生的原因有哪些?常见问题小型

一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法百度学术

摘要：一种机械研磨或抛光过程中减小塌边现象的方法,属于机械研磨抛光加工技术领域本发明在零件非加工面上胶接与非加工面形状相同的外边框结构,通过外边框结构对工件的非加工面进行包裹,且保证加工过程中工件与外边框包裹结构为一个整体,将原有的出现在工件边缘的塌陷转移到外边框上知乎有问题，就会有答案

硅片加工缺陷的分类及解读

2022年1月21日塌边是抛光工艺中，在硅片边缘区域形成的斜坡状加工缺陷。产生原因由于抛光布太软，抛光速度过慢，抛光时间过长以及抛光前的化学腐蚀边缘减薄量较多等因素，在酸腐蚀工艺中，边缘腐蚀过快也容易造成塌边。2017年9月2日双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究下载积分： 2000 内容提示：文档格式：PDF 页数：3 浏览次数：77 上传日期： 18:56:43 文档星级：双面研磨抛光中工件表面“塌边现象”的研究道客巴巴